顯微維氏硬度計是測試熱處理工件表面硬度的重要手段，它可選用0.5～100kg的試驗力，測試薄至0.05mm厚的表面硬化層，可分辨出熱處理工件表面硬度的微小差別。
硬度計擁有可供連接數碼相機和CCD攝像頭的螺紋接口，方便接入維氏硬度的測量軟件系統。軟件能顯示試驗方法、試驗力、試驗力保荷時間、測量次數等；操作時只要從薄膜鍵盤輸入壓痕對角線長度，內置計算器自動計算出硬度值并顯示在LCD屏上。
由于顯微硬度試驗往往是對很小的試樣(如針尖)，或試樣上很小的特定部位(如金相組織)進行硬度測定，這種情況就得用顯微鏡才能進行工作。正確使用顯微維氏硬度計，除了正確選擇負荷、加荷速度、保荷時間外，測量顯微鏡使用的正確與否是十分重要的。
負荷的選擇為確切得到被測對象的真實硬度，必須選擇恰當負荷。選擇負荷應考慮以下幾個原則：
1、在測定薄片或表面層硬度時，要根據壓頭壓入深度和試件或表面層厚度選擇負荷。因為一般試件或表面層厚度是知道的，而被測部位硬度或硬度范圍也應是可知道的，基于壓頭壓入試樣時擠壓應力在深度上涉及范圍接近于壓入深度的10倍，為避免底層硬度的影響，壓頭壓入深度應小于試件或表面層的十分之一。
2、對試樣剖面測定硬度時，應根據壓痕對角線長度和剖面寬度選擇負荷。基于壓頭壓入試樣時產生的擠壓應力區域從壓痕中心擴展到4倍對角線的距離。
為避免相鄰區域不同硬度或空間對被顯微維氏硬度計的影響，所以壓痕中心離開邊緣的距離應不小于壓痕對角線長度的2.5倍，即壓痕對角線長度為試件或表面層剖面寬度的五分之一。
3、當測定晶粒、相、類雜物等時，應遵守以上兩個原則來選擇負荷，壓頭壓入深度不大于其厚度的1/10，壓痕的對角線長度應不大于其面積的1/5。
4、測定試件(零件、表面層、材料)平均硬度時，在試件表面尺寸及厚度允許的前提下，應盡量選擇大負荷，以免試件材料組織硬度不均勻影響顯微維氏硬度計的正確性。
